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Gases especiais eletrônicos de alta pureza contendo fluorina são amplamente utilizados em indústrias de alta tecnologia, como semicondutores, microeletrônicos e células solares relacionadas. À medida que as tecnologias de semicondutores e microeletrônicos se desenvolvem para maior desempenho e maior integração, os requisitos de pureza para gases especiais eletrônicos estão aumentando., A purificação do gás especial eletrônico é muito importante
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