CAS de hexafluoreto de enxofre: 2551-62-4 SF6 99.999% 5n Gas especial de alta pureza
Uso do produto
O hexafluoreto de enxofre é um gás inerte incolor, inodoro, não tóxico e não inflamável com um peso molecular de 146,07, um ponto de fusão de -51 ° C e um ponto de ebulição de -64 ° C. A estrutura molecular do hexafluoreto de enxofre é organizada em um octaedro, a distância de ligação é pequena e a energia de ligação é alta; portanto, sua estabilidade é alta. O hexafluoreto de enxofre de alta pureza de grau eletrônico é um gravador ideal. O hexafluoreto de enxofre pode ser usado para gravar a superfície do silício e remover membranas orgânicas ou inorgânicas em materiais semicondutores e pode ser usada na fabricação de fibras ópticas.
Especificação de qualidade
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Items
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Units
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Index
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（SF6）Sulfur
hexafluoride
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Vol./%
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≥99.999%
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Oxygen+Argon（O2+Ar）≤
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Vol.ppm
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≤2
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Nitrogen（N2）≤
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Vol.ppm
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≤2
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Carbon tetrafluoride（CF4）≤
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Vol.ppm
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≤1
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Carbon monoxide（CO）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Carbon dioxide（CO2）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Methane（CH4）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Moisture（H2O）≤
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Vol.ppm
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≤3
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Acidity（以HF计）≤
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μg
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≤0.1
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Hydrolytic fluoride（以HF计）≤
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μg
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≤0.8
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Total impurity content≤
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μg
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≤10
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Particle
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μg
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Supply and demand agreement
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Aplicativo
O hexafluoreto de enxofre puro de alto grau eletrônico é um agente de gravura eletrônica ideal, amplamente utilizado no campo da tecnologia de microeletrônica, é usado como um agente de limpeza e limpeza de plasma na fabricação de grandes circuitos integrados, como chips de computador e LCD. O hexafluoreto de enxofre é usado como fonte de fluorina para produzir vidro dopado com fluorina na preparação da fibra óptica. Além disso, o hexafluoreto de enxofre também pode ser usado como gás isolante, agente traçador e refrigerante.
Embalagem 、 armazenamento
O hexafluoreto de enxofre é armazenado em cilindros sem costura padrão, geralmente o volume do cilindro é 40L, o tipo de cilindro é CGA590 QF-2 e a pressão do cilindro é 8,0MPa e 12,5MPa. Especificações específicas de embalagem podem ser personalizadas de acordo com os requisitos do usuário. O hexafluoreto de enxofre é armazenado em uma faria sombria e ventilada para longe da fonte de fogo e calor, a temperatura da despensa não excede 30 ℃. Deve ser armazenado separadamente com agente inflamável (combustível) e oxidante. A área de armazenamento deve ser equipada com equipamentos de emergência para emergência.
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