Boron11 tricloreto semicondutor semicondutor dopant gravação seca
Introdução ao produto
À temperatura e pressão normais, o tricloreto de boro (BCL 3 ) é um gás de fumaça incolor, que é odor inflamável, picante e ácido. O tricloreto de boro se decompõe em ácido clorídrico e ácido bórico e libera muito calor com água, gera fumaça no ar úmido devido à hidrólise e o BCL 3 se decompõe em ácido clorídrico e éster de ácido borico em álcool. O tricloreto de boro tem uma forte capacidade de reação e pode formar uma variedade de compostos de coordenação. O tricloreto de boro pode reagir com vidro e cerâmica quando aquecido, e também reage com muitos compostos orgânicos para formar uma variedade de compostos de organoboron. O tricloreto de Boron11 de alta pureza é usado principalmente para doping de difusão no processo de fabricação de dispositivos semicondutores (silício). As impurezas de boro são geradas através da decomposição do BCL 3 e difundem em relação ao silício para formar semicondutor do tipo P em alta temperatura. O BCL 3 também pode ser usado para a gravação a seco de Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI e outros materiais.
Especificação de qualidade
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items
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Units
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Index
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Boron11 Trichloride≥
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Vol.%
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99.9995
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Oxygen+Argon<
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Vol.ppm
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1
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Nitrogen<
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Vol.ppm
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4
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Ca
rbon monoxide<
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Vol.ppm
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0.5
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Carbon dioxide<
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Vol.ppm
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0.2
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Methane <
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Vol.ppm
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0.5
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Total impurity content≤
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Vol.ppm
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5
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Metal ion
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Vol.ppm
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Supply and demand agreement
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Aplicativo
O tricloreto de boro pode ser usado para fabricar boro puro alto, catalisador para síntese orgânica, agente de fluxo para decomposição de silicato e também usado como aditivo de desoxidador, nitretos e carbonetos em refino de liga. O tricloreto de alto boro11 puro é usado principalmente em doping de difusão, implante de íons, gravura a seco e outros processos em dispositivos semicondutores e fabricação de circuitos integrados.
Embalagem e armazenamento
O tricloreto de Boron11 é preenchido no cilindro. O cilindro cheio de tricloreto de Boron11 está em conformidade com as disposições relevantes do GB14193. As especificações da embalagem incluem 10L e 47L. O produto é armazenado em uma despensa sombreada, seca e ventilada abaixo de 60 ℃ . É proibido expor ao sol e se afasta das fontes de calor. O pacote deve ser selado e deve ser armazenado separadamente com álcalis e outros artigos perigosos.
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